Научно-исследовательский центр
по изучению свойств поверхности и вакуума

Основные направления работ группы
Состав группы
Источник финансирования работ
Основной рабочий инструмент
Основные публикации последних лет
Контактное лицо
Адрес
Государственные стандартные образцы для растровой электронной микроскопии


Слева направо:    Черняков Виктор Николаевич, Невзорова Лидия Николаевна,
Калейдин Владимир Валерьянович, Тодуа Павел Андреевич, Желкобаев Жумабек Есмуханович

Основные направления работ группы:
Разработка фундаментальных основ метрологического
обеспечения измерений длинны в нано-пикометровом диапазонах на
основе методов растровой электронной, сканирующей туннельной и
атомно-силовой микроскопии и лазерной фазометрии.

Состав группы:
Тодуа Павел Андреевич - доктор физико-математических наук, профессор, директор НИЦПВ;
Календин Владимир Валерьянович - зам. Директора НИЦПВ, кандидат физико-математических наук;
Невзорова Лидия Николаевна - ведущий научный сотрудник, кандидат физико-математических наук;
Черняков Виктор Николаевич - ведущий научный сотрудник, кандидат физико-математических наук;
Желкобаев Жумабек Есмуханович - ведущий специалист.

Источник финансирования работ: Госбюджет (Г9), 3 проекта в программах Миннауки и Технологии гранды.

Основной рабочий инструмент: Эталонная установка на основе сканирующего туннельного, атомно-силового микроскопов и лазерных интерферометров
Лазерная измерительная система (ЛИС-01)

  1. Разработана методология автоматизированных высокоточных измерений малых линейных размеров специальных тест-структур в диапазоне 0,1-5,0мкм с помощью растрового электронного микроскопа (РЭМ) с использованием теоретических моделей формирования РЭМ-изображений и периодических мер - эталонов сравнения [1, 2].
  2. Достигнута воспроизводимость результатов измерений линейных перемещений по трем координатам измерительной установки на основе СТМ/АСМ менее 1 нм в диапазоне перемещений 5х5х1мкм3 за время измерений <1мин.
  3. Для атомной структуры поверхности высокоориентированного пиролитического графита (ВОПГ) площадью 102х107 2 по результатам интерферометрических измерений перемещений ВОПГ по осям X и Y получено латеральное разрешение 0, 24 нм, что соответствует параметру элементарной ячейки графита. Впервые практически осуществлена взаимосвязь двух физических величин (констант) - длинны волны излучения стабилизированного He-Ne лазера и постоянной решетки кристалла графита (ВОПГ) [3].
  4. Проведены взаимные круговые сличения результатов измерений периода специальных штриховых мер (голографических решеток) в диапазоне 0,2-0,5мкм на эталонных установках НПО "ВНИИМ" и НИЦПВ (Россия), МБМВ (Франция). Расхождение результатов измерений не превышает 1нм.


Основные публикации последних лет:

  1. Kozlitin A.I., Nikitin A.V., Repin O.I., Sterensky V.N. The Automatized Measurments of Ultra Small Dimensions with Using of the Theoretical Modeles and Natural Constants (The "Standardless" Method) // Journ. Of Advanced Materials. 1995, N5, pp24-29.
  2. В.В. Календин, А.И. Козлитин, А.В. Никитин, В.Н. Сретенский. Метрологическое обеспечение автоматизированных измерений малых размеров с использованием теоретических моделей и мер. // Измерительная техника. 1997, N4, стр. 31-36.
  3. V.V. Kalendin, V.N. Сhernyakov, P.A. Todua, Z.E. Zhelkobaev. Etalon Interferometric Comparator for 3D Measurement of Surface Topography Based on the Scanning Tunnel and Atomic Force Microscopes. // Progress in Precision Engineering and Nanotechnology. Proceedings of the 9th International Precision Engineering Seminar Braunshweig, Germany, 1997 v.1, pp. 138-139.

    1. V.Ja Barash, Zh.Zhelkobaev, V.V. Kalendin “Radiooptical phase comparator of nanometric fand”. // Proceeding of the 8th International Precision Engineering Seminar, Compiegne France, May, 1995, p. 117.
  4. V.V. Kalendin, V.Ja Barash, V.N. Chernyakov “Measure scanning interference atomic-force microscope.” “Proceeding of the 8th International Precision Engineering Seminar, Compiegne, France, May, 1995, p.211.
  5. V.V. Kalendin, V.N. Chernyakov, P.A. Todua, Zh.Zhelkobaev “Etalon laser interferential comparator on the basis of the scanning tunnel and atom-force microscope”. “Proceeding of 5th IMEKO TC-14 Symposium on DIMENSIONAL METROLOGY in production and quality control SMQC`-95” Zazagozo (Spain), October, p.71.
  6. P.A. Todua, Zh.Zhelkobaev, V.V. Kalendin “Fast laser two-frequency interferometer-psasemeter”. “Proceeding of 5th IMEKO TC-14 Symposium on DIMENSIONAL METROLOGY in production and quality control SMQC`-95” Zazagozo (Spain), October, p.21.
  7. Zh.Zhelkobaev, V.V. Kalendin and B.G. Vladimirov “High precision laser system for measurement of mechanical parameters of motion”. “Proceeding of the International conference of experimental mecanics” Advances and Application ICEM`96 Singapore, September, p. 48-50.
  8. V.V. Kalendin, V.N. Chernyakov, Zh.Zhelkobaev and A.Xa. Pozhrov “Precision system for 3D measurement of topography of surface based on the atom-force microscope and laser interfermeters.” “Proceeding of the 2nd Congress and Exhibition for Optical Sensor Technology Measuring Techniques Electronics” OPTO-96 Leiprig, Septemter, p. 24-25.
  9. V.V. Kalendin, Zh.Zhelkobaev and V.S. Chikhalov “Multifunctional measuring system based on a two-frequency laser interferometer-phasemeter” “Proceeding of the 2nd Congress and Exhibition for Optical Sensor Technology Measuring Techniques Electronics” OPTO-96 Leiprig, Septemter, p. 117-118.
  10. В.В. Калейдин, Л.Н. Невзорова, А.Ю. Рожков, В.Н. Черняков “Эталонная интерференционная установка на основе сканирующего туннельного и атомно-силового микроскопов.” Труды II международной научно-технической конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, Зеленоград, 1995, стр. 131-134.
  11. В.В. Калейдин, Ю.А. Кудеяров, Ю.В. Ларионов, Л.Н. Невзорова «Метрологическое обеспечение измерений длин в диапазоне 0,1-10нм» Труды II международной научно-технической конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, Зеленоград, 1995, стр. 137-139.
  12. В.В. Калейдин, А.И. Козлитин, А.В. Пилевин, В.Н. Сретенов «Метрологическое обеспечение измерений сверх малых размеров с использованием теоретических моделей, мер и природных констант. Измерительная техника, 1996г., стр. 15-19.
  13. V.V. Kalendin, V.N. Chernyakov, P.A. Todua and Zh.Zhelkobaev “Etalon interferometric comparator for 3D Measurements of Surface topography based on the Scanning tunnel and Atomic Force Microscopes” Proceeding of the 9th International Precision Engineering Seminar Stadhall, Braun Schweig, Germany 28-30 May 1997 (принято к печати №187)

Контактное лицо: Календин Владимир Валерьянович
Тел.: (095) 132-66-87
Факс: (095) 132-60-13
Адрес: 117925, Москва, ул. Вавилова, 38.

Е-mail: fgup_nicpv@mail.ru