ПЕРВЫЙ ТУННЕЛЬНЫЙ МИКРОСКОП В ЗЕЛЕНОГРАДЕ
Неволин Владимир Кириллович профессор МИЭТ, доктор. физ.-мат. наук
Друзья мои! Идите твердым шагом по стезе,
ведущей в храм согласия, а встречаемые на пути препоны преодолевайте с
мужественною простотою льва.
К.
Прутков
Ранней весной 1985 года я был в гостях на знаменитой
"Дельте" у Петра Лускиновича (ныне член-кор. Академии технологических наук). Он
мне показал ксерокопии статей Г.Биннига и Х.Роера, в которых описывались
уникальные результаты, получаемые с помощью сканирующих туннельных микроскопов
(СТМ). Это глубоко меня тронуло, однако не сам факт возможности увидеть атомы на
поверхности проводящих тел (это казалось мне естественным), а возможность,
которую я интуитивно ощутил: с помощью зонда формировать новые объекты
нанометровых размеров на этих поверхностях из "увиденных" атомов.
Я
быстро проделал необходимые оценки и выступил на семинаре кафедры теоретической
и экспериментальной физики (ТЭФ) в МИЭТ, которой в то время руководил профессор
Т.Д.Шермергор. Уже 4 декабря 1985 года в редакцию научно-технического журнала
"Электронная промышленность" мною была направлена статья, которая называлась
"Управляемый массоперенос с нанометровым разрешением".В ней показывалось каким
образом с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа можно формировать
наноразмерные объекты на поверхности проводящих подложек. Идеи, изложенные в
статье показались редакции несерьезными и она была отклонена. Однако в 1991 году
редакция опубликовала эту статью, поставив ее первоначальную дату поступления.
Между тем Г.Бинниг с соавторами в 1985 году получил патент на использование СТМ
в нанотехнологии, а мы считаем 4 декабря 1985 года официальной датой рождения
нанотехнологии в МИЭТ.
В начале 1986 года по предложению ректора МИЭТ
профессора Вернера В.Д. мною была разработана программа исследований по
нанотехнологии. Зав. кафедрой ТЭФ Шермергор Т.Д. создает группу сотрудников для
разработки и изготовления туннельного микроскопа, полностью игнорируя меня. Это
"заело" и я, занимавшийся большею частью "теоретизированием" по прикладной
физике, решил сам построить туннельный микроскоп, конечно от отчаяния. Стал
собирать различные детали, запасаться пьезокерамикой. В это время группа
Т.Д.Шермергора во всю чертила и делала заказы на заводе "Протон".
Начал я
свою самодеятельность 3 января 1987 года. В начале "слепил" не работающую
конструкцию. Но уже в конце марта мы с П.Лускиновичем присутствовали на семинаре
в МГУ, где состоялась презентация СТМ, созданного под руководством В.И.Панова и
повторяющего конструкцию Биннига, а в дипломате у меня лежали фотоснимки моего
микроскопа и первых сканов, полученных на этом микроскопе. Петр Николаевич все
настаивал, что бы я выступил и показал их. Это были результаты неутомимой все
поглощающей страсти и бдений по ночам на кафедре, поскольку микроскоп мог
работать удовлетворительно только после 10 часов вечера, когда выключались
шумящие электронные приборы в институте.
Уже в июле 1987 года была подана
заявка на предполагаемое изобретение микроскопа, отличающегося тем, что он
предназначался для технологических целей. Как оказалось впоследствии авторское
свидетельство на этот микроскоп было вторым в СССР (после М.С.Хайкина а
хронологически микроскоп был построен пятым в стране) и первым по
технологическому назначению. Кстати, группа Шермергора Т.Д. так и не запустила
свой микроскоп и распалась. Я благодарен ему за то, что он создал для меня не
выносимые условия а я смог их преодолеть.
В 1988 году были получены и
опубликованы первые в стране результаты по бесконтактной модификации
металлических подложек, а в 1989 г. - результаты по формированию квазиодномерных
структур в диэлектрических матрицах. В 1992 г. созданы макеты дискретных
элементов наноэлектроники с перестраиваемыми нелинейными свойствами. Все эти
результаты, начиная с 1989 г., получены в рамках аванпроекта "Нанотехнология",
который выполнялся под руководством В.Д.Вернера, в том числе, и на Предприятии
перспективных исследований (ППИ) при Научном Центре. Надо отдать должное
Станиславу Александровичу Гаряинову, который сумел отобрать лучшие на то время
идеи по электронике в стране и помогал их реализовать в рамках ППИ.
В
1993 г. были построены технологические туннельные микроскопы, совмещенные с
оптическими устройствами. На этих микроскопах получены многочисленные
экспериментальные результаты, послужившие основой ряда кандидатских и докторской
диссертаций. На протяжении ряда лет работал научный семинар для студентов и
аспирантов МИЭТ, автором неоднократно был прочитан факультативный курс по
основам туннельно-зондовой нанотехнологии, в 1996 г. издано учебное пособие
"Основы туннельно-зондовой нанотехнологии".
|
